Mikro virzošais sliedes virsmas apstrādes process galvenās ietekmes un lietojumprogrammas veiktspējas veikšanai

Mikro virzošais sliedes virsmas apstrādes process galvenās ietekmes un pielietojuma veiktspējas veikšanai

I . Virsmas apstrāde: miniatūra rokasgrāmata "veiktspējas pielāgošanas kods"

Micro guide rail surface treatment is like wearing "functional armor" for precision machinery, by changing the surface structure and performance, targeted solution to the core needs of wear resistance, corrosion resistance, friction reduction and so on. In the nano-scale movement of semiconductor equipment, medical instruments in a sterile environment, the surface treatment directly determines the guide's ability to maintain accuracy and service life.

High-quality miniature guide rail core technology characteristics analysis

Otrkārt, četri galvenie veiktspējas pārveidošanas lomas procesu veidi

1. slāpēšana un sacietēšana: ceļvedim "Muscle"

Procesa kodols:Augstas temperatūras slāpēšana, lai padarītu rokasgrāmatas virsmu “sacietēšana”, cietība var būt līdz HRC 58-62, piemēram, līdz metāla virsmai, kas ievadīta "muskuļos" .

Veiktspējas izmaiņas:

Nodiluma pretestība tiek palielināta vairāk nekā 3 reizes, piemēram, pusvadītāju vafeļu apstrādes aprīkojumā, atdzesētais ceļvedis var izturēt vairāk nekā 100, 000 Atkārtotas kustības laiki bez nodiluma .

Paaugstināta pretestība pret deformāciju, pat lielās vertikālajās slodzēs, ceļvedi nav viegli saliekt, nodrošinot mikronu līmeņa pozicionēšanas precizitāti .

PIEZĪME: Pēc rūdīšanas iekšējā stresa novēršanai vajadzētu "rūdīt", pretējā gadījumā tas var kļūt trausls un saplaisājis .

2. galvanizācijas pārklājums: ceļvedim "Nēsājiet aizsargaprīku"

Tipiski gadījumi:

cietais hroma pārklājums:Vadošajā sliedes virsmā, kas pārklāta ar dažiem mikronu biezu cietu hromu, ne tikai izturīgu un izturīgu pret koroziju, kas piemērota saskarei ar dzesēšanas šķidruma medicīniskās pārbaudes aprīkojumu .

Niķeļa-fosfora sakausējuma pārklājums:Gluda virsma kā spogulis, zems berzes koeficients un sāls izsmidzināšanas korozijas izturība vairāk nekā 1000 stundu, ko parasti izmanto pusvadītāju vakuuma kamerā .

Intuitīva ietekme:

Rūsas pretestība ir dramatiski uzlabota, piemēram, mitrā vidē, pārklātām sliedēm ir pat 10 reizes garāks līdz rūsēšanai nekā neapstrādātas .

Vienmērīgāka kustība un 10-15 DB trokšņa samazināšana lielos ātrumos . 3.

3. Īpašais pārklājums: pievienojiet ceļvedim īpašas prasmes

Dimantam līdzīgs pārklājums (DLC): Tāpat kā "Nano Armor" uzlikšana uz ceļveža, tas ir ārkārtīgi grūti un pašaplicinošs, piemērots vakuuma videi (e {. g ., fotolitogrāfijas platformas) ar zemu berzes koeficientu tik zemu kā {{}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}}

Molibdēna disulfīda pārklājums (MDS): izturīgs pret augstu temperatūru un eļļas taupīšanu, tas var arī darboties stabili bez papildu eļļošanas aviācijas un kosmosa aprīkojumā ar berzes koeficientu tikai 0.03.

Pieteikuma scenāriji:Pusvadītāju kodināšanas iekārtās tiek izmantoti ar DLC pārklāti ceļveži, lai pretotos intensīvai jonu staru bombardēšanai, savukārt molibdēna disulfīda pārklājumus izmanto augstas vakuuma, bez eļļas telpas vidē . 4.

4. Blacking: "Pamata aizsardzība" ceļvežiem

Vienkāršs un praktisks:Melno aizsargājošo plēvi veido oksidēšana, zemas izmaksas un piemērota sausai iekštelpu videi (e . g . 3 d printeri) .

Vienkāršs un praktisks:veidojot melnu aizsargājošu plēvi, oksidējot, zemas izmaksas, piemērotas iekštelpu sausai videi (e . g . 3 d printeri) .

Scenāriju balstīta izvēle: kā “ģērbt pareizo” ceļvedi

Augstas precizitātes laboratorijas:Izvēlieties DLC pārklājumu vai rūdīšanu + slīpēšanu, lai nodrošinātu precizitātes zaudēšanu ilgtermiņa lietošanā .

Pusvadītāju rūpnīca:Jāizmanto niķeļa-fosfora pārklājums vai DLC pārklājums, ne tikai pretoties ķīmiskajai korozijai, bet arī stabila darbība vakuumā .

Medicīniski minimāli invazīvi ķirurģiski roboti:Pārklāts ar molibdēna disulfīdu vai anodēts ar titāna sakausējumu, kas nav magnētisks un bez uzturēšanas, un atbilst sterilām prasībām .

Secinājums: Virsmas apstrāde ir veiktspējas "virziena optimizētājs"

Dažādas virsmas procedūras ir kā miniatūras sliedes aprīkošana ar dažādu "aprīkojumu":sacietēšana, lai padarītu to spēcīgāku, pārklāj, lai padarītu to izturīgāku koroziju, un pārklājumu, lai tas būtu pielāgojams ekstrēmai videi ., izvēloties, tikai atcerieties: atbilstoši scenāriju izmantošanai "pielāgoti", lai ļautu precizitātes ceļvedi milimetra telpā, lai atskaņotu maksimālo veiktspēju .}}}}}}}}}}}}}}}, izmantojot}}, izmantojot}, izmantojot to, ka viņi

Guideway and slide tightness adjustment of the whole strategy: from inspection to commissioning